Степпер на 350 нм: как Россия делает свои микросхемы?

В рамках программы развития электронного машиностроения ЗНТЦ (Завод наукоёмких технологий и компонентов) совместно с компанией «Планар» разработал и запустил в работу первый отечественный литографический степпер на 350 нанометров. Установка…
Подробнее »