В рамках программы развития электронного машиностроения ЗНТЦ (Завод наукоёмких технологий и компонентов) совместно с компанией «Планар» разработал и запустил в работу первый отечественный литографический степпер на 350 нанометров. Установка уже прошла государственные испытания и готова к серийному производству. Это важный шаг в создании независимой микроэлектронной промышленности в России.
Что такое степпер (фотолитограф) и зачем он нужен?
Степпер — это ключевое оборудование для производства микросхем. Он переносит топологию с фотошаблона на кремниевую пластину, формируя структуру будущего чипа. До недавнего времени Россия зависела от импорта таких установок, но теперь появилась полностью отечественная альтернатива.
Особенности разработки
- Локализация: Установка создана с максимальным использованием российских комплектующих, включая оптическую колонну из 27 линз из отечественного фарфорового стекла.
- Гибкость: Работает с пластинами 150 мм и 200 мм, поддерживает как кассеты, так и SMIF-контейнеры.
- Технологическая база: Степпер адаптирован под отечественные фоторезисты и химические реактивы, хотя часть материалов пока импортируется (идут работы по их замене).
- Совместимость: Установка интегрирована в кластер отечественного оборудования — от нанесения резиста до проявления.
Планы на будущее
- 130 нм: В 2026 году планируется сдача степпера на 130 нм, что позволит выпускать более современные чипы.
- Локализация химии: Ведутся работы по созданию отечественных фоторезистов и реактивов.
- Серийное производство: Уже есть два потенциальных заказчика, а срок изготовления новой установки — около 1,5 лет.
Почему это важно?
- Цифровой суверенитет: Россия получает возможность производить микросхемы без зависимости от зарубежных поставщиков.
- Поддержка промышленности: Установка позволяет отрабатывать технологии для будущих производств, сокращая время наладки.
- Экспортный потенциал: В перспективе такие степперы могут поставляться в страны-партнёры.
Разработка ЗНТЦ и «Планар» — это не просто научный успех, а практический инструмент для возрождения российской микроэлектроники. Уже сейчас установка готова к работе, а в ближайшие годы ожидается переход на более тонкие техпроцессы.
Инфо!
- Так же партнёром выступает российский производитель лазеров ЛАССАРД.
- Белорусская компания «Планар», сохранила компетенции в области разработки фотолитографов ещё со времён СССР.
- Степпер для изготовления микросхем 350 нм — это габаритная установка 2х2,6х2,5 метров (оптико-механическое устройство, объектив лазера с рабочей длиной волны 365 нм) с весом в 3,5 тонны. К этому еще прилагается управляющий комплекс.
- В качестве источника излучения используется не ртутная лампа, а более мощный и долговечный твердотельный лазер.
- Площадь рабочего поля увеличена до 22х22 мм с 3,2х3,2 мм.
Хотите узнать больше? Следите за новостями ЗНТЦ — в будущем могут появиться и другие прорывные разработки!
